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伴隨著芯片制程工藝的提升，芯片代工商對極紫外光刻機的需求也明顯增加，臺積電和三星電子就已采購了大量的極紫外光刻機，存儲芯片制造商 SK 海力士也已開始采用極紫外光刻機，在未來 5 年也將大力采購，美光科技也已計劃在 2024 年開始安裝極紫外光刻機。

芯片大廠大量采購極紫外光刻機，也就意味著這一類光刻機的應用比例在未來幾年將大幅提升，并逐漸占據主導地位。。

而全球目前唯一能制造極紫外光刻機的阿斯麥公司預計，到 2025 年，全球所運行的光刻機中，極紫外光刻機所占的比例將超過 60%。

阿斯麥預計 2025 年極紫外光刻機所占的比例超過 60%，是他們負責營銷的一名高管，在有關極紫外光刻機生態系統的一次會議上透露的。

這名高管透露，他們預計極紫外光刻機所占的比例在未來 5 年將平穩增長，最終在全球半導體市場所應用的光刻機中，占據超過 60% 的份額。，據國外媒體報道，已順利量產7nm，5nm芯片制程工藝的臺積電和三星電子，已采購了大量的極紫外光刻機，用于為相關的廠商代工芯片。